超精密表面抛光材料去除机理研究进展

超精密表面抛光材料去除机理研究进展 错学屯扭 第４９卷第１７期２００４年９月 评述 徐进雒建斌路新春 张朝辉 潘国顺 （清华大学摩擦学国家重点实验室，北京１０