纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究

纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究摘要：纳米Ta基阻挡层是一种新型的材料，在电子器件中具有重要的应用价值。本文采用射频磁控溅射技术制备纳米Ta基阻挡层，并对其性能进行了研