射频磁控溅射制备HfLaO薄膜结构和光学性能研究

射频磁控溅射制备HfLaO薄膜结构和光学性能研究摘要本研究使用射频磁控溅射技术制备了HfLaO薄膜，并考察了其结构和光学性能。通过X射线衍射和扫描电子显微镜的观察，得出了薄膜的结构及表面形貌等信息。利