基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器的研究

基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器的研究摘要：本文研究了基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器，分析了其原理和特性，并探讨了其在无线通信领域中的应用。本文使用了金属微型