基于高阻硅衬底的超导共面波导谐振腔的任务书

基于高阻硅衬底的超导共面波导谐振腔的任务书一、背景超导共面波导谐振腔是超导电路中的重要元器件，常用于量子计算中的量子比特存储和操作。而高阻硅衬底则是一种常用的材料，具有优异的光学和电学性质，能够有效地