电子束辐照PET薄膜制备有序多孔阵列高分子模板

电子束辐照PET薄膜制备有序多孔阵列高分子模板郝旭峰 周瑞敏 吴新锋 周菲 邓邦俊 费舜廷（上海大学射线应用研究所 上海 201800）摘要 本文用掩膜工艺电子束蚀刻技术产生具有潜影的聚酯（PET）薄