Al、Sn共掺杂ZnO薄膜(ZATO)的制备及性能研究

Al、Sn共掺杂ZnO薄膜(ZATO)的制备及性能研究摘要：本文以Al、Sn共掺杂的氧化锌薄膜（ZATO）为研究对象，通过溶胶-凝胶法制备了不同掺杂比例的ZATO薄膜，并对其结构、光学和电学性能进行了