磁控溅射制备氮化物薄膜及其表征的开题报告

磁控溅射制备氮化物薄膜及其表征的开题报告一、研究背景及意义随着半导体、光电子等领域的发展，氮化物材料在新型材料中占有重要地位。氮化物具有高硬度、高熔点、高抗氧化性等特点，在电子器件制造、光伏发电等领域