多晶硅微悬臂梁粘附失效的可靠性分析的综述报告

多晶硅微悬臂梁粘附失效的可靠性分析的综述报告多晶硅微悬臂梁是微纳技术中常用的一种结构，其具有体积小、重量轻、响应速度快等优点，因此在微机电系统（MEMS）传感器和执行器中被广泛应用。然而，由于其非常小