射频磁控溅射法制备TixV1-xO2薄膜及其表征

射频磁控溅射法制备TixV1-xO2薄膜及其表征射频磁控溅射法制备TixV1-xO2薄膜及其表征摘要：本文采用射频磁控溅射法制备了TixV1-xO2薄膜，并通过X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外-可见吸