《光刻清洗工艺简介》PPT课件

- 大 纲 - 光刻工艺介绍一、光刻概述二、工艺流程三、主要工艺设备介绍四、其他清洗工艺介绍一、清洗概述二、常用湿法清洗（腐蚀）方法三、清洗机及超声清洗四、等离子清洗机五、常用