硅片加工-硅片清洗专业知识课件

- 1. 污染和清洗简介 - 1）清洗的目的和意义2）材料表面的吸附污染与去除原理3）较少吸附的主要途径4）环境洁净度的概念5）硅片表面的污染种类——清洗对象