低氧单晶硅工艺研究

` 一低 氧 单 晶 硅 工 艺 研 究低 氧 硅 单 “ ’ ”备 组阳”紫 驴瞥臀 霞一己、健犷二硅单 晶 中的 氧在不 同 温 度 下 以 不 同 的组态 存在又 各不 相同。二在 器 件 制