微电子智造中国芯论文

微电子智造中国芯论文 随着信息产业的发展，集成电路(也就是常说的“芯片”)成为手机、平板电脑等电子移动终端离不开的设备，而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。 以光刻机为代表的