2021振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟

振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟 振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟 根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸;根据建立的`陀螺振动的等效