微米及纳米金刚石薄膜的真空电镀设备制备及其组织性能

- 微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究(1) 　　采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）方法在铜衬底上沉 - 积了微米和纳米两种金刚石薄膜，过渡层均为钛－铝－