阴极电弧沉积TiN薄膜研究

阴极电弧沉积TiN薄膜研究阴极电弧沉积是一种常用的表面涂层技术，可以用于制备不同种类的薄膜材料。其中，钛氮化物（TiN）薄膜由于其优异的性能和多种应用领域，受到了广泛的研究和应用。本文将重点探讨阴极电