【精品】专业论文文献 -二氯二氢硅反歧化装置在多晶硅生产中的应用

二氯二氢硅反歧化装置在多晶硅生产中的应用二氯二氢硅反歧化装置在多晶硅生产中的应用 　　摘 要：二氯二氢硅反歧化装置利用二氯二氢硅与四氯化硅的反歧化反应原理，可以有效地将二氯二氢硅转化成多晶硅生产原料三