真空镀膜技术习题

莆什么叫真空？真空特点是什么？薃真空区域的划分是怎样的？其物理基础是什么？薁简述气体和蒸汽的区别。螆何为物理吸附？何为化学吸附？膆说明机械泵的抽气原理。影响机械泵极限真空的因素有哪些？莁说明扩散泵的结