薄膜作业

铁电薄膜及铁电存储器信息功能材料与器件孙兴敏13S009007铁电薄膜及铁电存储器摘要：铁电薄膜是具有铁电性II.厚度尺寸为数纳米到数微米的薄膜材料，因其在 非挥发性铁电随机存储器方面的潜在应用而