取向硅钢-渗氮脱碳工艺综述

先脱碳后渗氮工艺主要技术问题：氧化膜各成分及其含量控制，主要通过控制脱碳气氛 来调节。氧化膜影响脱碳效率、后续渗氮过程及底层质量。难点：氧化膜成分的精确控制脱碳L气氛对于氧化膜成分影响分析分压比：即P