金属SiC半导体接触的SiC表面等离子体改性研究的任务书

金属SiC半导体接触的SiC表面等离子体改性研究的任务书任务书一、任务背景随着半导体材料技术的不断发展，SiC半导体材料作为高温、高频、高功率应用领域的代表材料，受到了广泛关注。在SiC材料的制备过程