具有侧面冗余的铜互连线的电迁移效应研究

具有侧面冗余的铜互连线的电迁移效应研究具有侧面冗余的铜互连线的电迁移效应研究引言：随着集成电路技术的不断发展，互连线的电迁移效应（EM）成为芯片设计中需要重点关注的问题之一。互连线的电迁移现象会对芯片