ALD技术的发展与应用

ALD技能的生长与应用摘要：随着微电子行业的生长, 集成度不绝提高、器件尺寸连续减小, 使得许多传统微电子质料和科技面临巨大挑战, 然而原子层沉积(ALD)技能作为一种优异的镀膜技能, 因其沉淀的薄膜