超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究的任务书

超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究的任务书一、研究背景和意义随着微电子技术的不断发展，芯片逐渐向着更加微小、高密度、高可靠性的方向发展。微细加工技术已经成为了微电子制造的重要环节