酒类资料-浙江师范大学LED芯片研发中心 精品

“浙江师范大学---LED芯片研发中心”超净室设备采购清单序号项目名称设备、材质及工程技术要求性能要求主要技术指标1气体供应 及防护系统一、总体功能描述：气体供应及防护系统是为PECVD和TCP设备安