ISO14644-1洁净室和洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

ISO14644-1洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级ISO等级序号（N）大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3）0.1um0.2um0.3um0.5um1um5umISO Class 11