薄膜材料与薄膜技术复习资料

为了研究真空和实际使用方便，根据各压强范围内不同的物理特点，把真空划分为　　 粗真空 　，　低真空 ，　高真空　　，　超高真空　四个区域。在　高真空　　真空条件下，分子的平均自由程可以与容器尺寸相比