变径玻璃毛细管对MeV能量He+离子束的导向和聚束的中期报告

变径玻璃毛细管对MeV能量He+离子束的导向和聚束的中期报告一、研究背景离子束技术已成为材料表面改性、微纳加工、物质分析等领域中的重要工具。离子束的稳定和精确定位对于实现微纳尺度加工和表面分析至关重要