热偶真空计系统设计总结报告

热偶真空计系统设计总结报告（王永昌 , 张斌鑫, 王海程, 张谢祥；褚向前；机械设计制造及其自动化10-11班 机械与汽车工程学院）摘要：在真空度测量方面， 目前，已有从105Pa到 10-11 Pa