氮化硅工艺表面颗粒污染的研究的中期报告

氮化硅工艺表面颗粒污染的研究的中期报告本中期报告是关于氮化硅工艺表面颗粒污染的研究，以下是报告内容和进展情况：研究背景：氮化硅是一种广泛应用于半导体制造中的材料，具有优异的电学和物理性能。然而在氮化硅