基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作

基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作摘要：本论文研究了基于永磁薄膜的MEMS磁传感器的设计与制作。首先介绍了MEMS技术的基本原理和应用场景，然后详细介绍了