MEMS皮拉尼传感器概述

MEMS皮拉尼传感器概述抽象真空设备具有广泛的应用，为了满足实际应用，真空监测在这种设备中是必要的。皮拉尼传感器的工作原理是利用空气密度对 气体热传导的影响，引起敏感结构的温度变化，从而检测周围环境中