不同烧结温度下ITO靶材的金相组织分析

不同烧结温度下ITO靶材的金相组织分析ITO（Indium tin oxide）是一种广泛应用于透明电极材料的无机氧化物。ITO靶材通常被用于制备透明导电膜、光电器件等。其物理性质受到烧结温度的影响较