针对瞬态位移干涉仪的非线性回归数据分析方法

针对瞬态位移干涉仪的非线性回归数据分析方法瞬态位移干涉仪（Transient Displacement Interferometer, TDI）是一种使用激光干涉原理测量微小振动或形变的仪器，其精度高