振动不敏感球形光学参考腔研究

振动不敏感球形光学参考腔研究振动不敏感球形光学参考腔研究摘要：振动不敏感球形光学参考腔是一种基于多模干涉原理的精密光学测量工具。相比于传统的光学参考腔，振动不敏感球形光学参考腔具有更高的灵敏度和更宽的