半导体工艺化学实验报告范文

半导体工艺化学实验报告范文 实验名称：硅片的清洗 实验目的：1.熟悉清洗设备  2.掌握清洗流程以及清洗前预准备   实验设备：1.半导体兆声清洗机（SFQ-1