冷阴极潘宁离子源的改进实验及其应用

冷阴极潘宁离子源的改进实验及其应用为了实现更高质量的离子束，冷阴极潘宁离子源得到了广泛的应用和改进。这篇论文旨在介绍冷阴极潘宁离子源的改进实验及其应用，着重关注离子源的材料、形状和尺寸、电子发射、离子