8367000_鞠金宁_ZrO2和ZrNx薄膜的结构形貌与润湿性研究

摘 要在各种应用领域里都需要能够承受恶劣条件的疏水材料，金属陶瓷薄膜由于本身具有的高硬度，高韧性和高熔点等特性，是非常理想的疏水材料。在金属陶瓷中，电负性较低的阳离子具有较低的路易斯酸度，从而导致其