GaN-MOVPE气相自由基反应的量子化学研究

GaN-MOVPE气相自由基反应的量子化学研究GaN-MOVPE气相自由基反应的量子化学研究摘要：在氮化镓(GaN)薄膜生长的过程中，氨气(NH3)参与的化学反应是关键步骤之一。在气相生长氮化镓的金属