扫描探针显微镜作业指导书(doc)-作业指导

本作业指导书根据美国DI公司Nanoscope E型扫描探针显微镜（操作）说明书制定。1.适用范围本方法适用于材料表面形貌、相组成研究 ，半导体掺杂、电容及芯片电路研究 纳米刻蚀、加工与纳米器件研究，