基于SU-8光刻胶的光纤加速度传感器的研究的开题报告

基于SU-8光刻胶的光纤加速度传感器的研究的开题报告一、研究背景与意义在众多传感器种类中，加速度传感器因其简单、易用、灵敏等优点，被广泛用于车辆、航空航天、机械设备、地震勘测等领域。随着微纳加工技术的