半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法

半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法摘要：半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业，晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之一。产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度