钽铝合金膜的制备与应用

钽铝合金膜的制备与应用钽铝合金膜的制备与应用摘要：钽铝合金膜作为一种材料，由于其优良的氧化抗蚀性能、热稳定性和机械性能，具有广泛的应用前景。本论文主要介绍了钽铝合金膜的制备方法和其在电子器件、防蚀材料