微型机器人的发展现状及展望

微型机器人的发展现状及展望摘要: 微型机器人是微电子机械系统的一个重要分支, 由于它能进入人类和宏观机器人达不到的狭小空间内作业, 几十年来受到了广泛的关注。本文首先介绍了微型机器人的发展现状和研究中