多组元合金薄膜的制备及性能研究

多组元合金薄膜的制备及性能研究多组元合金薄膜的制备及性能研究摘要：多组元合金薄膜由于其优异的结构和性能，在材料科学领域中得到了广泛的关注。本文从制备方法出发，综述了多组元合金薄膜的制备技术，包括物理气