MEMS静电驱动系统中非局部问题研究的任务书

MEMS静电驱动系统中非局部问题研究的任务书任务书：MEMS静电驱动系统中非局部问题研究一、研究背景微电机系统（MEMS）是由微观尺度制造的电力、机械和电子技术组合而成的微型设备，具有体积小、重量轻、