Marangoni效应下下拉速率对多晶硅真空定向凝固晶体质量的影响研究

Marangoni效应下下拉速率对多晶硅真空定向凝固晶体质量的影响研究标题：Marangoni效应下下拉速率对多晶硅真空定向凝固晶体质量的影响研究摘要：多晶硅是目前广泛应用于半导体制造业的重要材料，其