射频磁控溅射法制备ZnOAl2O3薄膜及其界面特性研究(精)

射频磁控溅射法制备ZnO/Al2O3薄膜及其界面特性研究摘要：近些年来，由于ZnO薄膜优异的性能，吸引着越来越多的人对其进行研究。人们尝试利用不同的方法制备ZnO薄膜，并研究了不同的实验参数对ZnO薄