基于微区LIBS的光学元件表面疵病成分检测技术的研究

基于微区LIBS的光学元件表面疵病成分检测技术的研究基于微区LIBS的光学元件表面疵病成分检测技术的研究摘要：光学元件的表面疵病成分检测对于保证元件质量和性能具有至关重要的作用。本文基于微区激光诱导击